介绍一下关于IC制造业
Integrated Circuit IC集成电路
集成电路是一九五八年由美国的德卅仪器公司所发明的。它是将一个完整的电子电路处理在一块小小的硅芯片上,然后再以金属联机与外在引线相接,外加陶瓷或塑料包装的装置,由于它能将原本需要许多零件的电子电路集中缩小,因此被称为集成电路。它具备优于传统电子电路的三个特性:体积小、价廉、可靠。
依照其集积化的程度可区分为小型(SSI)、中型(MSI)、大型(LSI)、超大型(VLSI)集成电路
Fab*cation FAB制造
Fabcation为"装配"或"制造"之意,与Manufacture意思一样。半导体制造程序,其步骤繁多,且制程复杂,需要有非常精密的设备和细心的作业,才能达到无缺点的品质。FAB系Fabcation之缩写,指的是"工厂"之意。我们常称FAB为"晶圆区",例如:进去"FAB"之前须穿上防尘衣。
Foundry客户委托加工
客户委托加工主要是接受客户委托,生产客户自有权利的产品,也就是客户提供光罩,由联华来生产制造,在将成品出售给客户,只收取代工费用,这种纯粹代工,不涉及销售的方式在国际间较通常的称呼就叫硅代工(Silicon Foundry)。
常用CHAMICLE
DI WATER去离子水
IC制造过程中,常需要用酸碱溶液来蚀刻,清洗芯片。这些步骤之后, 又须利用水把芯片表面残留的酸碱清除。而且水的用量是相当大。
然而IC工业用水,并不是一般的自来水,而是自来水或地下水经过一系 列的纯化而成。原来自来水或地下水中,含有大量的细菌,金属离子及 PARTICLE,经厂务的设备将之杀菌过滤和纯化后,即可把金属离子等杂质去除,所得的水即称为"去离子水"。专供IC制造之用。
H2SO4硫酸
SUIFURIC ACID 硫酸
目前最广泛使用的工业化学品。强力腐蚀性,浓稠,油状液体,依纯度不同,由无色至暗棕色,与水以各种不同比例互溶。甚具活性。
溶解大部份的金属。浓硫酸具氧化,脱水,磺化大部分的有机化合物,常常引起焦黑。比重1.84,沸点315℃。 与水混合时,须格外小心,由于放热引起爆炸性的溅泼,永远是将酸加到水中,而非加水至酸中。
不小心被溅到,用大量水冲洗。
目前在线上,主要用于SO清洗及光阻去除
H3PO4磷酸
PHOSPHORIC ACID 磷酸
无色无味起泡液体或透明晶形固体。依温度,浓度而定。在20℃ 50及75﹪强度为易流动液体,85﹪为似糖浆,100%酸为晶体。比重1.834,熔点42.35℃。在213﹪失去Y2H2O,形成焦磷酸。
溶于水,乙醇,腐蚀铁及合金。对皮肤,眼睛有剌激性,不小心被溅到,可用水冲洗。
目前磷酸用于SI3N4的去除,浓度是85﹪,沸点156℃,SI3N4 与SIO2的蚀刻比约为30:1
HCL氯化氢(盐酸)
HYDROCHLORIC ACID盐酸。
无色或淡黄色,发烟,剌激性液体。氯化氢的水溶液。盐酸是一种强烈酸性及高腐蚀性酸。市面出售之"浓或发烟酸含有氯化氢38%,比重1.19。
氯化氢溶解在水中有各种不同的浓度。可溶于水,酒精,苯,不可燃。用途广泛。可用于食品加工,金属之酸洗与清洁,工业酸化,一般之清洗,实验试药。
不小心被溅到,用大量水冲洗。
目前线上,主要用于RCA清洗。
HNO3硝酸
NITRIC ACID硝酸
透明,无色或微黄色,发烟,易吸湿之腐蚀性液体,能腐蚀大部份金属。其黄色是由于曝光所产生之二氧化氮,为强氧化剂,可与水混合,沸点78℃,比重1.504。
对皮肤有腐蚀性,为强氧化剂,与有机物接触有起火危险。
清洗炉管用。